设备要经常保持水质清洁是设备能长期稳定工作的关键。必须定期换水、清洗水箱。不能抽粉尘和固体物质。某些腐蚀性气体可导致水箱内水质变差，产生气泡，影响真空度，故应注意不断循环换水。对特殊强腐蚀性气体，应认真判断是否与本设备所使用材料有反应，并谨慎使用。真空度上不去应首先判断是否被抽容器泄漏或皮管接动松动。如属泵的问题，则检查进水口或各气路是否堵塞或松动漏气。循环水真空泵的电机不转，应检查电源或保险丝。

    如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。真空泵在工作个月内，经100h更换润滑油，以后每隔500h，换一次油。经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。